本文源自:金融界
金融界2024年10月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏嘉兆电子有限公司申请一项名为“一种晶圆剪切力测试装置”的专利，公开号CN 118794814 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明涉及应用于测试领域的一种晶圆剪切力测试装置，通过主引膜和副引膜磁吸包裹晶圆的方式，使晶圆从检测箱中进出，一方面有效实现了检测箱自身的密封状态，为晶圆提供一个隔离的检测环境，初步减小微尘对晶圆的影响，另一方面，通过主引膜和副引膜包裹晶圆，在无需打开检测箱的情况下，实现晶圆在检测箱内的进出，并在晶圆进出检测箱前后，同样有效阻碍了晶圆与空气的接触，进一步降低微尘对晶圆的影响，另外，在检测完成后，将检测箱内气体循环经过主引膜上的微孔区，可有效达到对其的微尘过滤效果，进一步为晶圆的检测提供个安全的检测环境。
